球栅尺是一种用于测量线性和旋转运动的高精度测量仪器。它采用了光电传感器和光栅技术，可以实现微小位移的测量和控制。本文将从六个方面对球栅尺的工作原理图解进行详细阐述。 1. 光栅 光栅是球栅尺的核心部件之一。它由许多平行的透明和不透明条纹组成，可以将光线分成若干束，形成一系列光斑。球栅尺中常用的光栅有反射式和透射式两种。 反射式光栅是将光源照射到光栅表面，反射出的光线通过物镜透镜汇聚到光电传感器上，形成一系列光斑。透射式光栅则是将光源照射到光栅后面，透过光栅的透明条纹形成一系列光斑。 2. 光电